| 9/02 | . | интерферометры |
| 9/021 | . | . | с использованием голографических устройств [2] |
| 9/023 | . | . | . | для оконтуривания (G01B 9/025-G01B 9/029 имеют преимущество) [2] |
| 9/025 | . | . | . | устройств с двукратной экспозицией [2] |
| 9/027 | . | . | . | в реальном масштабе времени [2] |
| 9/029 | . | . | . | с усреднением времени [2] |
| 9/04 | . | измерительные микроскопы (микроскопы вообще G02B 21/00) |
| 9/06 | . | измерительные телескопы (телескопы вообще G02B 23/00) |
| 9/08 | . | оптические проекционные компараторы |
| 9/10 | . | гониометры для измерения углов между поверхностями |